L'illuminazione è fornita da una fonte luminosa esterna inclinata (30°-60°) rispetto alla superficie dell'oggetto. Le immagini sono rese visibili perchè i raggi luminosi, riflessi dalle superfici con lo stesso angolo di incidenza, assumono un intensità luminosa superiore rispetto a tutti i raggi riflessi con diverse inclinazioni. Le ombre create sono meno accentuate di quelle del sistema a luce radente. I raggi riflettono anche su parte delle superfici in profondità rendendo adatto questo sistema per visualizzare zone più ampie e profonde della superficie di un oggetto. Si utilizza questo tipo di illuminazione anzichè quella coassiale perchè anche le superfici inclinate che vengono illuminate risultano parzialmente visibili.